FPD 與 OLED 設(shè)備在處理超精細(xì)面板時(shí)，對(duì)微振動(dòng)控制與顆粒污染控制極為敏感。AMS 的低振動(dòng)、低顆粒線性運(yùn)動(dòng)解決方案適用于潔凈室環(huán)境，可在精密工作臺(tái)的進(jìn)給以及高精度對(duì)位過程中保證重復(fù)定位精度。應(yīng)用于面板搬運(yùn)、掩膜對(duì)準(zhǔn)、曝光與檢測(cè)設(shè)備時(shí)，有助于提升制程良率，并增強(qiáng)設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。